荷电

荷电是对于导电性能不好的样品如半导体材料，绝缘体薄膜，在电子束的作用下，其表面会产生一定的负电荷积累。但由于高能电子的穿透能力以及样品表面二次电子的发射作用，对于一般在100nm厚…